上海洁净室施工：洁净工程分类
 　　空气洁净室：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。 
 　　静态洁净室：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室（设施），但是设施内没有操作人员。
 　　动态洁净室：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员；如果需要，可从事正常的工作。上海洁净室设备
 　　 控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。
 净化工程分类：
 层流式：
 　　 层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
 　　 a、水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
 　　 优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
 　　 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。洁净室生产厂家
 　　 b、垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
 　　 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
 乱流式：
     缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
 复合式：
 　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
 　　洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
 　　洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
 　　洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。洁净设备安装
 　　并装局部洁净室：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
 局部洁净工程：
 　　洁净工作台：等级Class 1~100级。
 　　洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
GBJ73-84规定的洁净度等级：　
      等级：每立方米（升）空气中》0.5μm尘粒数；上海洁净室生产
      每立方米（升）空气中》5μm尘粒数；
      100 《35*100（〈3.5〉；
      1000 《35*1000（〈35〉 《250（〈0.25〉；
      10000 《35*10000（〈350〉 《2500（〈2.5〉；
      100000 《35*100000（〈3500〉 《25000（〈25〉；
      美国联邦标准FS209E中的洁净等级；